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半导体靶材是什么

发表时间：2024-10-17 13:00:13 来源：网友投稿

半导体靶材是一种用于半导体制造过程中的关键材料，主要用于生产光刻机使用的光罩、制造集成电路用的硅晶圆等。它通常由高纯度的金属或合金制成，能够承受高温和真空环境。靶材在离子束刻蚀、磁控溅射等工艺中起到作用，通过靶材的蒸发或溅射，将材料沉积到基板上，形成所需的薄膜结构。半导体靶材的纯度、均匀性和稳定性对半导体器件的性能和质量至关重要。

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