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氦质谱非真空累积检漏法原理

发表时间：2024-10-18 00:59:39 来源：网友投稿

氦质谱非真空累积检漏法是一种检测设备泄漏的方法。其原理是利用氦气分子作为示踪气体，将氦气充入待检设备内。当设备处于非真空状态时，泄漏点会使氦气分子逃逸到外部。通过质谱仪检测氦气分子在真空室中的浓度变化，可以计算出泄漏速率。这种方法灵敏度高，不受设备内部压力影响，适用于各种设备检漏。简单来说就是通过监测氦气分子在设备内外流动的速度差异，判断设备是否存在泄漏。

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