芯片制造工艺流程详解
发表时间:2024-11-05 16:54:52
来源:网友投稿
芯片制造工艺流程大致分为以下几个步骤:首先通过光刻技术将电路图案转移到硅晶圆上;接着在硅晶圆上进行离子注入,形成导电层;然后采用蚀刻技术去除不需要的部分,形成电路沟槽;随后,在沟槽中填充绝缘层,形成隔离层;再次重复光刻和蚀刻步骤,制作出更多的电路层;最后进行化学气相沉积,形成导电层,并在其上制作连接线。整个过程需要极高的精度和重复性,确保芯片性能稳定。
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