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三氯氢硅可以生产多少多晶硅

发表时间：2024-12-16 02:22:46 来源：网友投稿

三氯氢硅（SiHCl3）是生产多晶硅的重要原料。根据化学反应方程式，理论上1吨三氯氢硅可以生产大约1.5吨多晶硅。具体生产量会受到工艺、设备效率等因素的影响。在生产过程中，三氯氢硅在氢气氛围中还原，生成多晶硅。反应方程式为：2SiHCl3 + 3H2 → Si + 6HCl。，实际生产过程中，会有部分三氯氢硅未完全反应，所以实际生产量会略低于理论值。

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