PECVD是什么意思
| plasma enhanced chemical vapor deposition 中文解释 | |
|---|---|
| 英文缩写 | PECVD |
| 英文全称 | plasma enhanced chemical vapor deposition |
| 中文解释 | 等离子增强的化学蒸发沉积 |
| 缩写分类 | 电子电工 化学化工 |
| 缩写简介 | 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。 |
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