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fz硅片和cz硅片区别

发表时间:2024-08-21 23:15:19 来源:网友投稿

是指单晶硅其中用CZ法占了约85%,其他部份则是由浮融法FZ生长法。

CZ法生长出的单晶硅,用在生产低功率的集成电路元件。而FZ法生长出的单晶硅则主要用在高功率的电子元件。CZ法所以比FZ法更普遍被半导体工业采用,主要在于它的高氧含量提供了晶片强化的优点。另外一个原因是CZ法比FZ法更容易生产出大尺寸的单晶硅棒。

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