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光刻技术的加工精度与使用光源有关吗

发表时间：2024-08-24 02:48:24 来源：网友投稿

是的光刻技术的加工精度与使用的光源密切相关。

光刻技术是通过将光源通过透镜系统聚焦在光刻胶上，然后通过曝光和显影等步骤进行模式转移。光源的特性如波长、功率、相干性等，会影响到光刻胶的曝光效果和加工精度。较短的波长可以提供更高的分辨率和更小的特征尺寸，而较高的功率可以加快曝光速度和提高加工效率。所以选择适当的光源，以满足特定的光刻需求，是确保加工精度的重要因素之一。

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