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固态微波芯片的外延设备有哪些

发表时间：2024-10-18 01:46:48 来源：网友投稿

固态微波芯片的外延设备主要包括分子束外延（MBE）和金属有机化学气相沉积（MOCVD）。MBE技术利用超高真空环境，通过分子束流在衬底表面进行外延生长，可实现原子级精确控制。MOCVD技术则通过有机金属前驱体在高温下分解，在衬底表面形成薄膜。这两种设备均可精确控制生长参数，保证外延质量。MBE适用于生长高质量单晶薄膜，MOCVD则适用于大面积生长。

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